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SA6101电学分析系统

SA6101系列电学分析系统可精确地发起电压或电流以及同时测量电压和/或电流。它将单个电源、数字万用表（DMM）、电流源和电子负载的功能整合到一台紧密同步的工作台仪器中。可提供更高的精度、分辨率和灵活性，非常适合材料研究、半导体器件分析（传感器、晶体管、二极管、功率半导体、LED等）、电子电路测量等应用。
SA6101系列电学分析系统在测量MOSFET、BJT、气体传感器、光探测器、太阳能电池、MEMS器件等方面具有独特的优势。

产品特色

1. 精密电压和电流测量（测量低至0.5 μV和10 fA）
2. 电流、电压、电阻等均可自动换挡
3. 分辨率低至100 nV和0.1 fA
4. 测量速度高达100 ksps
5. 集半导体分析系统、I-V系统、波形记录器功能于一身
6. 精确多档位电压输出（最大±80 V）
7. 自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能，加快获得所需信息的速度
8. 完整的数据显示、图表绘制以及导出到电子表格

技术指标

SA6101电学分析系统具备提供电压源测量电流（SVMI）和电流测试两种测试模块。
1. 电流测量范围：1 pA ~20 mA，最大功率：0.48 W

电流测量范围(±)	电压输出范围	测量
电流测量范围(±)	电压输出范围	分辨率	电流量程(±)
20 mA	±200 mV~±24 V/±80 V	500 nA	20 mA
1 mA	±200 mV~±24 V/±80 V	50 nA	1 mA
100 μA	±200 mV~±24 V/±80 V	5 nA	100 μA
10 μA	±200 mV~±24 V/±80 V	500 pA	10 μA
1 μA	±200 mV~±24 V/±80 V	50 pA	1 μA
100 nA	±200 mV~±24 V/±80 V	5 pA	100 nA
10 nA	±200 mV~±24 V/±80 V	500 fA	10 nA
1 nA	±200 mV~±24 V/±80 V	50 fA	10 nA
100 pA	±200 mV~±24 V/±80 V	15 fA	100 pA
10 pA	±200 mV~±24 V/±80 V	5 fA	10 pA
1 pA	±200 mV~±24 V/±80 V	1.5 fA	1 pA

2. 电压输出范围：±200 mV~±24 V/±80 V

电压输出范围				输出电流范围	源
栅极 Gate	源极 Source	栅极 Gate	源极 Source	输出电流范围	分辨率	精度 ±(%读数 + 伏特)
±24 V/±80 V	±24 V/±80 V	±24 V/±80 V	±24 V/±80 V	±20 mA	500 μV	0.02% + 1.5 mV
±2 V	±2 V	±2 V	±2 V	±20 mA	50 μV	0.02% + 1.5 mV
±200 mV	±200 mV	±200 mV	±200 mV	±20 mA	5 μV	0.02% + 1.5 mV